金融界2024年12月4日消息，国家知识产权局信息kb体育平台官网 kb体育显示，东方晶源微电子科技（北京）股份kb体育官网 kb体育网址有限公司申请一项名为“深紫外暗场显微系统”的专利，公开号CN 119065114 A，申请日期为2024年8月。

　　专利摘要显示，本申请公开了一种深紫外暗场显微系统，包括：光源机构，沿第一方向射出深紫外光线；光线调节机构，包括第一透镜、旋转匀光kb体育官网 kb体育网址片、第二透镜和微透镜结构，第一透镜、旋转匀光片、第二透镜和微透镜结构沿第二方向依次排列，且旋转匀光片位于第一透镜背离光源机构的一侧；第一透镜、旋转匀光片和第二透镜形成去相干组件，第二透镜和微透镜结构形成匀光组件；第一方向和第二方向平行或相交；成像机构，沿第三方向设置，第三方向与被测对象表面垂直。本申请公开的深紫外暗场显微系统，能够提升深紫外光线的照明质量，以提高成像准确度。