在光刻机中，照明系统（Illumination system）的主要功能是为投影物镜成像提供特定光线角谱和强度分布的照明光场。照明系统位于光源与投影物镜之间，是复杂的非成像光学系统。它包括kb体育平台官网 kb体育光束处理、光瞳整形、能量探测、光场匀化、中继成像和偏振照明等单元。

　　（1）光线收集系统：使用椭圆反射镜、复眼透镜、光束导向器或反射式光线收集器，可实现高效率、均匀的照明。

　　（4）高精度曝光剂量控制：采用高精度曝光快门和光积分器，进行精确的曝光剂量控制。

　　（5）多种照明模式： 自动停止器选择、自动切换输入镜、 自动切换第一变焦镜头。

　　（6）自动照明均匀性补偿： 第二聚光镜的变焦机构（照明均匀性补偿机构）、安装用于自动照明均匀性补偿的软件、补偿因光轴偏移引起的照明均匀性变化的机构。

　　当不使用时，通过光纤为FRA提供照明光，并由该快门进行遮光。两个独立的AA和FRA快门通过步进电机的直接驱动进行旋转，以在透光和遮光模式之间进行切换。快门位置由两个光电开关进行检测。

　　FRA: Fine Reticle Alignment （照明光源：汞灯或激光）

　　I-line filter：汞灯发出的光是多种波长的混合光线，因此在进入整个光路系统前需要进行过滤。使用带通滤波器可从椭球反射镜收集的光通量中提取具有曝光所需的波长范围，阻止其他波长的光进入光路系统。

　　Gradient filter：梯度滤波器是248nm系统的标准配置，用于校正均匀性问题。它由一块石英板组成，用于产生均匀的光照强度分布。

　　ND filter(控制曝光量)：通过步进电机来驱动转盘旋转带动滤波片，以获得不同透光率。有4种滤波片，透光率分别为70%、50%、25%、12%。

　　Special filter：该单元位于蝇眼透镜的入射侧和光源上的反射镜之间，用于校正每个照明模式中的照明均匀性。