国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“用于投射曝光系统的照明光学单元的分面反射镜的单独反射镜”的专利，公开号CN121079626A，申请日期为2024年4月。

　　专利摘要显示，本发明涉及一种用于投射曝光设备（1）的照明光学单元（4）的分面反射镜（13；14）的可枢转安装的单独反射镜（20），其具有与方向相关的kb体育平台 kb体育在线入口枢转范围。

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