KB体育「中国大陆」官方网站

光科芯图申请用于全息光刻照明系统的光轴标记方法和装置专利解决操作繁琐、调节效率低的缺陷—KB体育-中国大陆官网
光科芯图申请用于全息光刻照明系统的光轴标记方法和装置专利解决操作繁琐、调节效率低的缺陷
发布时间:2026-03-21 15:21:36

  国家知识产权局信息显示,光科芯图(北京)科技有限公司申请一项名为“用于全息光刻照明系统的光轴标记方法和装置”的专利,公开号CN121657379A,申请日期为2026年1月。

  专利摘要显示,本申请提供一种用于全息光刻照明系统的光轴标记方法和装置,包括以下步骤:采用波前检测设备对照明系统进行波前测量,获取标准入射光轴对应的照明系统透射波前像差满足预设阈值;在照明系统的入光口设置光轴标记元件,光轴标记元件具kb体育官方网站 kb体育登录有中心透射区域和外围反射区域;调节光轴标记元件的位姿,使光轴标记元件的中心与标准入射光轴对准标定;替换波前检测设备为工作光源,通过反射光与工作光源入射光的形态及位置关系,判断工作光源入射光轴相对于标准入射光轴的偏心与倾斜状态;调节工作光源入射光轴的位姿,使工作光源入射光轴与光轴标记元件的中心对准。解决了相关技术中入射光轴与照明系统光轴调节过程中所存在操作繁琐、调节效率kb体育官方网站 kb体育登录低的缺陷。

  天眼查资料显示,光科芯图(北京)科技有限公司,成立于2022年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本40515.5493万人民币。通过天眼查大数据分析,光科芯图(北京)科技有限公司参与招投标项目5次,财产线条,此外企业还拥有行政许可1个。

  声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。